単結晶シリコン引き上げ装置

• CZ炉　Max.300φ×2,900mmL
• FZ炉
  【製作年：1977年〜】

多結晶シリコン製造装置

• 太陽電池用多結晶Si(角柱) 用電磁鋳造炉
  

電磁キャスティング炉

• シリコン棒製造設備　多結晶Si評価用25φ
  【製作年：1990年】