装置単体の設計・製作からライン全体の一括納入まで

単結晶・多結晶シリコン素材の製造装置、シリコンウエハーの研磨・検査・ハンドリング装置、基板関係の成形・塗装・ハンドリング装置を中心に装置単体の設計・製作からライン全体の一括納入までお引き受けします。

結晶炉

  • 単結晶シリコン引上げ装置
  • 多結晶シリコン製造装置

研磨装置

基板関係

その他