電子材料研磨事業

各種基板の精密研磨で半導体産業に貢献します。

サファイア・シリコンカーバイド基板

熱を発生しない夢の発光素子LEDが、交通信号、液晶テレビ、照明器具などの発光体として広く使われるようになってきました。LEDを形成するための基板には、サファイア単結晶が使用されその形状・表面には厳しい精度と品質が要求されます。また、次世代のデバイス材料として期待されているシリコンカーバイド等の難研磨材料の精密研磨の要求も高まっています。当社はシリコンウェハーの研磨を通じて培った技術で、お客様のご要求に応えて精密研磨の受託加工を行っています。

サファイア基板研磨

高輝度LED用サファイア基板の受託加工をお受けしております。 当社加工品は特にきわだったテラス形状に特徴があります。

径 φ2”〜4”
研磨 片面・両面
表面粗度 Ra≦0.2nm
外観 スクラッチフリー
高清浄
AFM画像(サファイア)

SiC結晶研磨

シリコンカーバイド（SiC：炭化珪素）を用いたパワーデバイスは、 その高速スイッチング・低損失・高動作温度の特性を生かして将来シリコンに代わる半導体素材として期待が集まっています。 当社では、SiCウェハーの精密研磨も行っています。

面粗さ Ra＜0.1nm
Rz＜1nm
外観 スクラッチフリー

SiC基板例

　6H-SiC（on-aｘis）
　4H-SiC（on-axis, 4ﾟ off, 8ﾟ off）

AFM画像(SiC)

製造工程

研磨工程は当社関連会社の、株式会社SF精密研磨　九州工場で実施しています。

研磨機 全自動洗浄機 KNP工場全景
研磨機 全自動洗浄機 工場全景

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徹底した品質保証体制

当社では最先端の検査装置を導入し、徹底した品質管理体制を築いています。
当社と関連会社SF精密研磨はISO9001の認証を取得しております。

検査装置

  • AFM（原子間力顕微鏡)
  • カンデラ（表面検査装置）
  • Surfcom（表面粗さ形状測定機）
  • MicroMAX（微細欠陥可視化検査装置）
  • FT-17（平坦度測定装置）
  • X線単結晶方位測定装置
  • 微分干渉顕微鏡
  • レーザー顕微鏡
カンデラ
カンデラ（表面検査装置）